O3的分析儀的的查測目的圖圖有半導體材料目的圖圖（新西蘭E2V）、電化工的查測目的圖圖、紅外光譜光法目的圖圖等。現在大部分來介召的是第四種最簡單的方法，即紅外光譜光法。

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